气浮隔振光学平台
气浮隔振光学平台:其隔振支撑采用二层气囊隔离,高阻尼小孔,隔振性能良好,稳定轻松调节,结构稳定可靠,自动平衡,自动充气,全部气动执行元件,采用知名合资气动品牌产品,可选配进口气动元件。
技术指标:
● 自动平衡精密隔振光学平台
● 平面度:0.1mm/1000mmX1000mm
● 平衡方式:空气弹簧气垫隔离,3个真空管水平调节阀自动平衡
● 表面粗糙度:小于0.8微米
● 固有频率:垂直:1.2~2.0Hz;水平:1.5~2.0Hz
● 水平复位精度:±0.10mm
● 工作条件:3~7kg/cm2压缩空气或氮气瓶