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气浮隔振光学平台

气浮隔振光学平台:其隔振支撑采用二层气囊隔离,高阻尼小孔,隔振性能良好,稳定轻松调节,结构稳定可靠,自动平衡,自动充气,全部气动执行元件,采用知名合资气动品牌产品,可选配进口气动元件。

 

技术指标:

自动平衡精密隔振光学平台

平面度:0.1mm/1000mmX1000mm

平衡方式:空气弹簧气垫隔离,3个真空管水平调节阀自动平衡

表面粗糙度:小于0.8微米

固有频率:垂直:1.22.0Hz;水平:1.52.0Hz

水平复位精度:±0.10mm 

工作条件:37kg/cm2压缩空气或氮气瓶